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真空氣氛爐的用途
真空氣氛爐是一種在氣氛保護下對材料燒結的真空電爐,主要用于氮化硅、碳化硅等陶瓷材料在氣氛(如N2、Ar、H2)下燒結,也可用于其他材料的吸氮、吸氫反應。氣氛燒結爐用石墨或貴金屬做發(fā)熱體,發(fā)熱體在非氧化性氣氛下通過流經(jīng)的電流發(fā)熱,在爐體內部產(chǎn)生大量的熱量。爐體內部使用碳氈或全金屬作為隔熱、保溫層,爐壁為雙層水冷結構,把爐體內散出的熱量帶走,從而使爐壁溫度不會過高。
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